Silicon carbide ceramic tray sucker Silicon carbide ceramic tube inopa kupisa kwakanyanya kupisa sintering custom processing
Zvinhu zvikuru:
1. Tireyi yesimbi yesilicon carbide
- Kuomarara kwakanyanya uye kuramba kupfeka: kuomarara kwacho kuri pedyo nedhaimani, uye kunogona kutsungirira kupera kwemuchina mukugadzirwa kwewafer kwenguva yakareba.
- Kupisa kwakanyanya uye kuwedzera kwekushisa kwakaderera: kupisa kunokurumidza kupera uye kugadzikana kwehukuru, kudzivirira kushanduka kunokonzerwa nekushushikana kwekupisa.
- Kureba uye kupera kwemusoro: Kureba kwemusoro kunosvika pachiyero che micron, zvichiita kuti chivharo chibatane zvizere nediski, zvichideredza kusvibiswa uye kukuvara.
Kugadzikana kwemakemikari: Kudzivirira ngura zvakanyanya, kwakakodzera kuchenesa nekuchenesa zvinhu zvakanyorova uye kugadzira zvinhu zvakasiyana-siyana.
2. Chubhu yesimbi yesilicon carbide
- Kudzivirira kupisa kwakanyanya: Inogona kushanda munzvimbo inodziya zvakanyanya kupfuura 1600°C kwenguva yakareba, yakakodzera kushandiswa kwe semiconductor high temperature.
Kudzivirira ngura kwakanyanya: inodzivirira maasidhi, alkalis uye makemikari akasiyana-siyana, yakakodzera mamiriro ekunze akaomarara.
- Kuomarara kwakanyanya uye kuramba kupfeka: kuramba kukanganiswa kwezvikamu uye kusakara kwemuchina, kuwedzera hupenyu hwebasa.
- Kufambiswa kwemhepo kwakanyanya uye kuwedzera kwekupisa kwakaderera: kufambiswa kwemhepo nekukurumidza uye kugadzikana kwemativi, kuderedza kushanduka kana kutsemuka kunokonzerwa nekumanikidzwa kwekupisa.
Chigadzirwa Chinoyera:
Silicon carbide ceramic tireyi parameter:
| (Zvinhu zvekushandisa) | (Chikamu) | (zvishoma) | |
| (Zviri mukati meSiC) | (Wt)% | >99 | |
| (Avhareji yehukuru hwetsanga) | maikoroni | 4-10 | |
| (Kuwanda) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Zvinoita sekuti porosity) | Vo1% | <0.5 | |
| (Kuomarara kwaVickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Simba rekuchinjika* (mapoinzi matatu) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Simba rekumanikidza) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastic Modulus) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Kusimba kwekutyoka) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Kufambisa kwekupisa) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Kusagona kuramba) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Kuwedzera kwemafuta) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Tembiricha yepamusoro yekushandisa) | oºC | 1700 | |
Silicon carbide ceramic chubhu parameter:
| Zvinhu | Index |
| α-SIC | 99% maminiti |
| Kuonekwa Kunoyerera | 16% yepamusoro |
| Kuwanda kwehuwandu | 2.7g/cm3 miniti |
| Simba Rekukombama Pakupisa Kwakakwirira | 100 Mpa miniti |
| Kuwanda kweThermal Coefficient | K-1 4.7x10 -6 |
| Coefficient yeThermal Conductivity (1400ºC) | 24 W/mk |
| Kupisa Kushanda Kwakanyanya | 1650ºC |
Mashandisirwo makuru:
1. Plati yesimbi yesilicon carbide
- Kucheka nekupukuta wafer: inoshanda senzvimbo yekutakura zvinhu kuti ive nechokwadi chekuti yakanyatsogadzirwa uye yakachengeteka panguva yekucheka nekupukuta.
- Maitiro eLithography: Wafer yacho inonamirwa mumuchina welithography kuti ive nechokwadi chekuti inoiswa zvakanaka panguva yekusviba.
- Chemical Mechanical Polishing (CMP): inoshanda senzvimbo yekutsigira mapedhi ekupukuta, ichipa kumanikidzwa kwakafanana uye kupararira kwekupisa.
2. Chubhu yesimbi yesilicon carbide
- Chubhu yefurnace inodziya zvakanyanya: inoshandiswa pamidziyo inodziya zvakanyanya yakadai sefurnace inopararira uye furnace inodziya zvakanyanya kutakura mawafer ekugadzirisa kupisa kwakanyanya.
- Maitiro eCVD/PVD: Sechubhu inopinza zvinhu mukamuri rekuita, inodzivirira kupisa kwakanyanya uye magasi anoparadza.
- Zvishongedzo zvemidziyo yeSemiconductor: zvezvinoshandiswa pakuchinjana kupisa, mapaipi egasi, nezvimwewo, kuvandudza mashandiro ekushandisa kupisa kwemidziyo.
XKH inopa mabasa akasiyana-siyana ekugadzira matireyi esimbi esimbi esimbi esimbi, makapu ekukweva uye machubhu esimbi ...
Dhayagiramu Yakadzama
