SiC ceramic chuck tray Ceramic suction cups machining yakagadzirwa neCeramic suction cups
Hunhu hwezvinhu:
1. Kuomarara kwakanyanya: kuomarara kwesilicon carbide yeMohs ndeye 9.2-9.5, yechipiri kune dhaimani, ine kuramba kwakasimba kwekupfekwa.
2. Kupisa kwakanyanya: kupisa kwesilicon carbide kwakakwira kusvika 120-200 W/m·K, izvo zvinogona kubvisa kupisa nekukurumidza uye zvakakodzera munzvimbo inodziya zvakanyanya.
3. Kuwanda kwekuwedzera kwekupisa kwakaderera: silicon carbide thermal expansion coefficient yakaderera (4.0-4.5×10⁻⁶/K), inogona kuramba yakagadzikana pakupisa kwakanyanya.
4. Kugadzikana kwemakemikari: silicon carbide acid uye alkali corrosion resistance, yakakodzera kushandiswa munzvimbo ine makemikari corrosion.
5. Simba guru remuchina: silicon carbide ine simba guru rekukombama uye simba rekudzvanya, uye inogona kutsungirira kushushikana kukuru kwemuchina.
Zvimiro:
1. Muindasitiri ye semiconductor, ma wafer akatetepa zvikuru anofanira kuiswa pakapu yekusveta vacuum, kusveta vacuum kunoshandiswa kugadzirisa ma wafer, uye maitiro ekusveta wax, kutetepa, kusveta wax, kuchenesa uye kucheka anoitwa pama wafer.
2. Silicon carbide sucker ine conductivity yakanaka yekupisa, inogona kupfupisa nguva yekuputira wakisi uye wakisi zvinobudirira, uye inovandudza kushanda zvakanaka kwekugadzira.
3.Silicon carbide vacuum sucker inewo simba rakanaka rekudzivirira ngura neacid uye alkali.
4. Kana tichienzanisa nendiro yekutakura yecorundum yechinyakare, inopfupisa nguva yekurodha nekuburitsa yekudziya nekutonhodza, inovandudza kushanda zvakanaka kwebasa; Panguva imwe chete, inogona kuderedza kusakara pakati pendiro dzepamusoro nedzepasi, kuchengetedza kururama kwakanaka kwendege, uye kuwedzera hupenyu hwebasa neanenge 40%.
5. Chikamu chezvinhu zvacho chidiki, huremu hwacho hwakareruka. Zviri nyore kuti vashandi vatakure mapallet, zvichideredza njodzi yekukuvadzwa kwetsaona kunokonzerwa nematambudziko ekufambisa neinenge 20%.
6.Saizi: dhayamita yepamusoro 640mm; Kufara: 3um kana pasi
Munda wekushandisa:
1. Kugadzira semiconductor
●Kugadzira wafer:
Kugadzirisa wafer mu photolithography, etching, thin film deposition nedzimwe nzira, zvichiita kuti zvive nyore uye kuti maitiro acho arambe akarongeka. Kudzivirira kwayo kupisa kwakanyanya uye ngura kwakakodzera munzvimbo dzakaoma dzekugadzira semiconductor.
●Kukura kweEpitaxial:
Mukukura kweSiC kana GaN epitaxial, senzira yekutakura kupisa nekugadzirisa mawafer, ichivimbisa kufanana kwekupisa uye kunaka kwekristaro pakupisa kwakanyanya, zvichivandudza mashandiro emuchina.
2. Midziyo yemagetsi ine simba
●Kugadzira LED:
Inoshandiswa kugadzirisa sapphire kana SiC substrate, uye sechinotakurira kupisa muMOCVD, kuve nechokwadi chekuti kukura kwe epitaxial kwakafanana, kuvandudza kushanda zvakanaka uye kunaka kwe LED.
●Diode yeLaser:
Sechinhu chinogadzirisa zvinhu nemazvo, chinogadzirisa nekudziya kuti chive nechokwadi chekuti tembiricha yekushanda yagadzikana, chinovandudza simba rekubuda uye kuvimbika kwelaser diode.
3. Kugadzira michina nemazvo
●Kugadziriswa kwezvikamu zveoptical:
Inoshandiswa kugadzirisa zvinhu zvakanyatsonaka zvakaita sema optical lenses nema filters kuti ive nechokwadi chekuti yakanyatsonaka uye kusvibiswa kwakaderera panguva yekugadzirisa, uye yakakodzera kushandiswa kwemashini ane simba rakawanda.
●Kugadzirwa kweceramic:
Sechigadzirwa chinogara kwenguva refu, chakakodzera kugadzirwa nemazvo kwezvinhu zveceramic kuti chive nechokwadi chekuti michina yacho yakanyatsogadzirwa uye inogara kwenguva refu kana paine tembiricha yakakwira uye ngura.
4. Kuedza kwesainzi
●Kuedza kupisa kwakanyanya:
Semudziyo wekugadzirisa sampuli munzvimbo dzinopisa zvakanyanya, inotsigira kuyedza kupisa kwakanyanya pamusoro pe1600°C kuti ive nechokwadi chekuti tembiricha yakafanana uye kuti sampuli dzakagadzikana.
●Kuedza kweVacuum:
Sechinogadzirisa uye chinotakurwa nekupisa munzvimbo inotonhorera, kuve nechokwadi chekuti kuyedza kwacho kwakarurama uye kunodzokororwa, kwakakodzera kuputira vacuum uye kurapwa kwekupisa.
Magadzirirwo ehunyanzvi:
| (Zvinhu zvekushandisa) | (Chikamu) | (zvishoma) | |
| (Zviri mukati meSiC) |
| (Wt)% | >99 |
| (Avhareji yehukuru hwetsanga) |
| maikoroni | 4-10 |
| (Kuwanda) |
| kg/dm3 | >3.14 |
| (Zvinoita sekuti porosity) |
| Vo1% | <0.5 |
| (Kuomarara kwaVickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *( Simba rekuchinjika) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Simba rekumanikidza) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastic Modulus) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Kusimba kwekutyoka) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Kufambisa kwekupisa) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Kusagona kuramba) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
Nemakore akawanda ekuunganidza tekinoroji uye ruzivo muindasitiri, XKH inokwanisa kugadzirisa zvinhu zvakakosha zvakaita sehukuru, nzira yekupisa uye dhizaini yekubvisa vacuum adsorption yechuck zvichienderana nezvinodiwa nemutengi, ichiva nechokwadi chekuti chigadzirwa chacho chakanyatsoenderana nemaitiro emutengi. SiC silicon carbide ceramic chucks dzave zvinhu zvakakosha mukugadzirisa wafer, kukura kwe epitaxial uye mamwe maitiro akakosha nekuda kwekupisa kwavo kwakanaka, kugadzikana kwekupisa kwakanyanya uye kugadzikana kwemakemikari. Kunyanya mukugadzirwa kwezvinhu zve semiconductor zvechizvarwa chechitatu zvakaita seSiC neGaN, kudiwa kwe silicon carbide ceramic chucks kuri kuramba kuchikura. Mune ramangwana, nekukura nekukurumidza kwe5G, mota dzemagetsi, huchenjeri hwekugadzira nedzimwe tekinoroji, mikana yekushandisa silicon carbide ceramic chucks muindasitiri ye semiconductor ichave yakakura.
Dhayagiramu Yakadzama
