Microjet laser tekinoroji michina yekucheka SiC kugadzirisa zvinhu

Kucheka kwemidziyo yetekinoroji yeMicrojet laser wafer Kugadzirisa zvinhu zveSiC Mufananidzo Wakafanotaurwa

Tsananguro pfupi:

Midziyo yetekinoroji yelaser yeMicrojet rudzi rwesystem yekugadzira nemazvo inosanganisa laser ine simba rakawanda uye micron-level liquid jet. Nekubatanidza laser beam kune high-speed liquid jet (mvura yakabviswa ion kana special liquid), kugadzirisa zvinhu nemazvo uye kukuvara kushoma kwekupisa kunogona kuitika. Iyi tekinoroji inonyanya kukodzera kucheka, kuboora uye kugadzirisa microstructure yezvinhu zvakaoma uye zvinoputsika (senge SiC, sapphire, girazi), uye inoshandiswa zvakanyanya mu semiconductor, photoelectric display, zvishandiso zvekurapa nedzimwe nzvimbo.

Tumira email kwatiri

Zvinhu zvirimo

Kushanda musimboti:

1. Kubatana kweLaser: pulsed laser (UV/green/infrared) inonangidzirwa mukati memvura kuti igadzire nzira yakasimba yekutumira simba.

2. Kutungamirirwa nemvura: jeti inomhanya zvikuru (kuyerera kwemvura 50-200m/s) inotonhodza nzvimbo yekugadzirisa uye kubvisa marara kudzivirira kuungana kwekupisa uye kusvibiswa.

3. Kubviswa kwezvinhu: Simba relaser rinokonzeresa cavitation effect mumvura kuti zvinhu zviome (nzvimbo yakanganiswa nekupisa <1μm).

4. Kudzora kwesimba: kugadzirisa maparamita elaser (simba, mafrequency) uye kumanikidzwa kwejet panguva chaiyo kuti zvienderane nezvinodiwa nezvinhu zvakasiyana uye maumbirwo.

Zvikamu zvikuru:

1. Simba reLaser: 10-500W (rinogona kugadziriswa)

2. Dhayamita yejeti: 50-300μm

3. Kururama kwemuchina: ± 0.5μm (kucheka), chiyero chehupamhi kusvika pakadzika 10:1 (kuchera)

Zvakanakira zvehunyanzvi:

(1) Kupisa kunenge kusisina kukuvara zvachose
- Kutonhodza jeti yemvura kunodzora nzvimbo inobatwa nekupisa (HAZ) kusvika ku **<1μm**, zvichidzivirira kutsemuka kunokonzerwa nekugadzirwa kwelaser kwakajairika (HAZ inowanzo kuve >10μm).

(2) Kugadzira michina nemazvo zvakanyanya
- Kucheka/kuboorwa kwakarurama kusvika ku **±0.5μm**, kuomarara kwemucheto Ra<0.2μm, kunoderedza kudiwa kwekukwesha kunotevera.

- Tsigira kugadzirisa kwakaoma kwe3D (senge maburi econical, maslots akaumbwa).

(3) Kuenderana kwezvinhu zvakasiyana-siyana
- Zvinhu zvakaoma uye zvinoputsika: SiC, safira, girazi, zviumbwa zvedongo (nzira dzechinyakare dziri nyore kupwanya).

- Zvinhu zvinonzwa kupisa: mapolymers, matishu ehupenyu (hapana njodzi yekupisa).

(4) Kuchengetedzwa kwezvakatipoteredza uye kushanda zvakanaka
- Hapana kusvibiswa kweguruva, mvura inogona kudzokororwa uye kusefa.

- Kuwedzera kwekumhanya kwekugadzirisa ne30%-50% (zvichienzaniswa nekugadzira).

(5) Kudzora kwakangwara
- Kuisa zvinhu panzvimbo yazvo pamwe nekugadzirisa ma parameter eAI, ukobvu hwezvinhu zvinochinjika uye zvikanganiso.

Magadzirirwo ehunyanzvi:

Vhoriyamu yekaunda	300300150	400400200
Akisi yakatsetseka XY	Mota yemutsetse. Mota yemutsetse	Mota yemutsetse. Mota yemutsetse
Akisi yakatsetseka Z	150	200
Kurongeka kwenzvimbo μm	+/-5	+/-5
Kurongeka kwenzvimbo kwakadzokororwa μm	+/-2	+/-2
Kukurumidzisa G	1	0.29
Kudzora nhamba	3 akisi /3+1 akisi /3+2 akisi	3 akisi /3+1 akisi /3+2 akisi
Rudzi rwekudzora nhamba	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Hurefu hwemafungu nm	532/1064	532/1064
Simba rakayerwa W	50/100/200	50/100/200
Jeti yemvura	40-100	40-100
Bhawa rekumanikidza remumuromo	50-100	50-600
Saizi (chishandiso chemuchina) (upamhi * kureba * kukwirira) mm	144519442260	170015002120
Saizi (kabhineti yekudzora) (W * L * H)	70025001600	70025001600
Kurema (midziyo) T	2.5	3
Kurema (kabhineti yekudzora) KG	800	800
Kugona kugadzirisa	Kuomarara kwepamusoro Ra≤1.6um Kumhanya kwekuvhura ≥1.25mm/s Kucheka kwedenderedzwa ≥6mm/s Kumhanya kwekucheka kwemutsetse ≥50mm/s	Kuomarara kwepamusoro Ra≤1.2um Kumhanya kwekuvhura ≥1.25mm/s Kucheka kwedenderedzwa ≥6mm/s Kumhanya kwekucheka kwemutsetse ≥50mm/s
	Kune gallium nitride crystal, ultra-wide band gap semiconductor materials (diamond/Gallium oxide), aerospace special materials, LTCC carbon ceramic substrate, photovoltaic, scintillator crystal nezvimwe zvinhu zvinogadziriswa. Cherechedza: Kugona kugadzira kunosiyana zvichienderana nehunhu hwezvinhu

Nyaya yekugadzirisa:

Mabasa eXKH:

XKH inopa rutsigiro rwakakwana rwese rwebasa re microjet laser technology, kubva pakugadzira maitiro ekutanga uye kubvunzana kwekusarudza michina, kusvika pakubatanidzwa kwesystem yakagadzirirwa pakati nepakati (kusanganisira kufananidza kwakakosha kwe laser source, jet system uye automation module), kusvika pakudzidziswa kwekushanda nekugadzirisa kwakazotevera uye kugadzirisa maitiro nguva dzose, maitiro ese ane rutsigiro rwehunyanzvi hwechikwata chehunyanzvi; Zvichibva pamakore makumi maviri eruzivo rwekunyatsogadzira michina, tinogona kupa mhinduro imwe chete inosanganisira kusimbiswa kwemidziyo, kutanga kugadzirwa kwehuwandu uye mhinduro yekukurumidza mushure mekutengesa (maawa makumi maviri nemana ekutsigira tekinoroji + zvikamu zvakakosha zvekuchengetedza) kumaindasitiri akasiyana akadai se semiconductor ne medical, uye tinovimbisa waranti yemwedzi gumi nemiviri uye basa rekuchengetedza nekuvandudza hupenyu hwese. Ita shuwa kuti michina yevatengi inogara ichichengetedza mashandiro ekugadzirisa anotungamira muindasitiri uye kugadzikana.