Chii chinonzi Wafer Chipping uye Chingagadziriswa Sei?

Kucheka mawafer inzira yakakosha mukugadzirwa kwema semiconductor uye ine simba rakananga pamhando ye chip yekupedzisira uye mashandiro ayo. Mukugadzirwa chaiko,chipping yewafer—kunyanyachipping yepamberiuyekupwanya mativi ekumashure—chikanganiso chinowanzoitika uye chakakomba chinoderedza zvakanyanya kushanda zvakanaka kwekugadzira uye goho. Kupwanya machipisi hakungokanganisi chitarisiko chete asi kunogonawo kukonzera kukuvara kusingagadzirisiki pakushanda kwawo kwemagetsi uye kuvimbika kwemuchina.

Tsanangudzo uye Mhando dzeWafer Chipping

Kucheka kwewafer zvinorevakutsemuka kana kutyoka kwezvinhu pamipendero yemachipisi panguva yekuchekwa kwezvidimbuInowanzoiswa muzvikamu zvivirichipping yepamberiuyekupwanya mativi ekumashure:

• Kucheka-cheka kumberikunoitika pamusoro pechip ine mapatani ecircuit. Kana chipping ikasvika munzvimbo yecircuit, inogona kukanganisa mashandiro emagetsi zvakanyanya uye kuvimbika kwenguva refu.

• Kucheka-cheka kumashurezvinowanzoitika mushure mekutetepa kwewafer, apo mapfupa anoonekwa muvhu kana kuti jira rakakuvara kumashure.

Kubva pamaonero echimiro,kupwanyika kwepamberi kunowanzokonzerwa nekutyoka kwe epitaxial kana pamusoro pemachira, panguva iyoKuchekwa kwedivi rekumashure kunobva pakukuvara kwakaitwa panguva yekuchekwa kwewafer uye kubviswa kwechinhu chiri pasi pevhu..

Kucheka kwepamberi kunogona kupatsanurwa muzvikamu zvitatu:

1. Chipping yekutanga- kazhinji zvinoitika panguva yekucheka usati watanga kana banga idzva raiswa, rinoratidzwa nekukuvara kwemucheto kusina kurongeka.

2. Kucheka kwechinguva (periodic (cyclic) chipping– inoonekwa kakawanda uye nguva dzose panguva yekucheka nguva dzose.

3. Kuchekwa kusingajairika– kunokonzerwa nekumhanya kwemashizha, kukurumidza kudya zvisina kunaka, kudzika kwekucheka kwakanyanya, kusuduruka kwewafer, kana kuchinja.

Zvikonzero Zvinokonzera Kupwanyika kweWafer

1. Zvinokonzera Kupwanya Kwekutanga

• Kunyatsorongeka kwekuisa banga hakukwani

• Chipande hachina kuumbwa zvakanaka kuita denderedzwa rakakwana

• Kuonekwa kwedhaimani kusina kukwana

Kana banga rakaiswa rakarereka zvishoma, simba rekucheka risina kuenzana rinoitika. Banga idzva risina kupfekwa zvakanaka richaratidza kusanyatsoenderana, zvichikonzera kutsauka kwenzira yekucheka. Kana tsanga dzedhaimani dzisina kuratidzwa zvizere panguva yekucheka kusati kwaitwa, nzvimbo dzinoshanda dzechip dzinokundikana kuumbwa, zvichiwedzera mukana wekuchekwa.

2. Zvinokonzera Kupwanya Kwenguva Nenguva

• Kukuvadzwa kwebanga pamusoro pechiso

• Zvidimbu zvedhaimani zvakakura kwazvo zvinobuda

• Kunamatira kwezvimedu zvekunze (resin, tsvina yesimbi, nezvimwewo)

Panguva yekucheka, maburi madiki anogona kubuda nekuda kwekukanganiswa nemachipisi. Madhaimani makuru anobuda anoisa zvinhu zvakanyanya kushushikana munharaunda, nepo masara kana tsvina yekunze pamusoro pebanga ichigona kukanganisa kugadzikana kwekucheka.

3. Zvinokonzera Kupwanya Zvisina Kunaka

• Kupera kwebanga kubva pakusagadzikana kwesimba pakumhanya kwakanyanya

• Kudya kusina kunaka kana kudzika kwakanyanya kwekucheka

• Kuchinja kwewafer kana kuchinja kweganda panguva yekucheka

Zvinhu izvi zvinotungamira kumasimba ekucheka asina kugadzikana uye kutsauka kubva munzira yakatarwa yekucheka, zvichikonzera zvakananga kutyoka kwemucheto.

4. Zvinokonzera Kupwanyika Kwemusana

Kucheka-cheka kwemusana kunonyanya kubvakuunganidzwa kwezvinetso panguva yekutetepa kwewafer uye warpage yewafer.

Panguva yekutetepa, chikamu chakakuvara chinoumbwa kuseri, zvichikanganisa chimiro chekristaro uye zvichikonzera kushushikana kwemukati. Munguva yekucheka, kusunungurwa kwekushushikana kunotungamira kukutanga kwekucheka kudiki, uko kunowedzera zvishoma nezvishoma kuita kutsemuka kukuru kwemusana. Sezvo ukobvu hwewafer huchiderera, kuramba kwayo kushushikana kunopera simba, uye warpage inowedzera - zvichiita kuti kutsemuka kwemusana kuve nyore.

Mhedzisiro yeChipping paMachipisi neZvidziviriro

Kukanganisa Kushanda kweChip

Kucheka-cheka kunoderedza zvakanyanyasimba remakanikaKunyangwe zvidimbu zvidiki zvemucheto zvinogona kuramba zvichipararira panguva yekurongedza kana kushandiswa chaiko, zvichizoguma nekutyoka kwemachipisi uye kutadza kwemagetsi. Kana chipping yepamberi ikapinda munzvimbo dzemasekete, zvinokanganisa kushanda kwemagetsi uye kuvimbika kwemuchina kwenguva refu.

Mhinduro Dzinoshanda dzeWafer Chipping

1. Kugadzirisa Maitiro Ekugadzirisa

Kumhanya kwekucheka, mwero wekudya, uye kudzika kwekucheka zvinofanirwa kugadziriswa zvichienderana nenzvimbo yewafer, rudzi rwezvinhu, ukobvu, uye kufambira mberi kwekucheka kuti kuderedze kushushikana.
Nekubatanidzakuona kwemuchina uye kutarisa kwakavakirwa paAI, mamiriro ebanga panguva chaiyo uye maitiro ekupwanya zvinogona kuonekwa uye kugadzirisa maparamita zvinogadziriswa otomatiki kuti zvidzorerwe nemazvo.

2. Kugadzirisa uye Kutarisira Midziyo

Kugara uchigadzirisa muchina wekucheka zvidimbu kwakakosha kuti uve nechokwadi chekuti:

• Kururama kwechirukiso

• Kugadzikana kwesystem yekufambisa

• Kushanda zvakanaka kwehurongwa hwekutonhodza

Sisitimu yekutarisa hupenyu hwese hwemaburi inofanira kuiswa kuitira kuti mapanga akasakara zvakanyanya atsiviwe asati adonha simba.

3. Kusarudzwa kweBlade uye Kugadzirisa

Zvimiro zveblade zvakaita sesaizi yedhaimani, kuomarara kwebond, uye kuwanda kwezviyozvine simba guru pamaitiro ekupwanya machipisi:

• Dhaimani hombe dzinowedzera kuchekwa kwepamberi.

• Tsanga diki dzinoderedza kuchekwa kwezvimedu asi dzinoderedza kushanda zvakanaka kwekucheka.

• Kuwanda kwezviyo kunoderedza kupwanyika kwezviyo asi kunoita kuti nguva yekushandisa yezvishandiso ive pfupi.

• Zvinhu zvakapfava zvekubatanidza zvinoderedza kupwanyika kwesimbi asi zvinokurumidzisa kupera.

Kune zvishandiso zvakagadzirwa nesilicon,Saizi yedhaimani ndiyo inonyanya kukoshaKusarudza mapanga emhando yepamusoro ane huwandu hushoma hwezviyo zvakakura uye kudzorwa kwehukuru hwezviyo zvakasimba kunoderedza kuchekwa kwepamberi uku uchichengetedza mutengo uchidzorwa.

4. Matanho Ekudzivirira Kucheka Chips Kumashure

Maitiro makuru anosanganisira:

• Kugadzirisa kumhanya kwespindle

• Kusarudza madhaimani abrasives ane grit yakanaka

• Kushandisa zvinhu zvakapfava uye kusanyanya kusimba

• Kuve nechokwadi chekuiswa kwebanga kwakanyatsojeka uye kugadzikana kwespindle vibration

Kumhanya kwakanyanya kana kuderera kwekutenderera kunowedzera njodzi yekutyoka kwemusana. Kutsvedza kwebanga kana kudedera kwespindle kunogona kukonzera kutsemuka kwemusana munzvimbo yakakura. Kune mawafers matete kwazvo,kurapwa kwakaitwa mushure mekurapa kwakadai seCMP (Chemical Mechanical Polishing), dry etching, uye wet chemical etchinginobatsira kubvisa zvakasara zvekukuvara, kusunungura kushushikana kwemukati, kuderedza warpage, uye kuwedzera simba remachip zvakanyanya.

5. Tekinoroji dzeKucheka dzepamusoro

Nzira dziri kutsva dzekucheka ganda dzisingabatanidzi vanhu uye dzisinganyanyi kushushikana dzinopa humwe kuvandudzwa:

• Kucheka neLaserinoderedza kusangana kwemuchina uye inoderedza kupwanyika kwesimbi kuburikidza nekugadzirwa kwesimba rakawanda.

• Kucheka-cheka kwemvurainoshandisa mvura ine simba guru yakasanganiswa nezvinhu zvinobvisa simba zvishoma, zvichideredza zvakanyanya kupisa uye kushushikana kwemuchina.

Kusimbisa Kudzora Kwemhando Yepamusoro uye Kuongorora

Sisitimu yakasimba yekudzora mhando inofanirwa kuiswa muchikamu chose chekugadzira—kubva pakuongororwa kwezvinhu zvakagadzirwa kusvika pakusimbiswa kwechigadzirwa chekupedzisira. Midziyo yekuongorora yakanyatsogadzirwa yakaita semaikorosikopu ekuona uye maikorosikopu emaerekitironi ekuskena (SEM)inofanira kushandiswa kunyatsoongorora mawafer mushure mekuchekwa, zvichiita kuti zviome kuona nekugadziriswa kwezvikanganiso zvechipping.

Mhedziso

Kupwanya wafer chipping idambudziko rakaoma, rine zvinhu zvakawanda.parameters dzemaitiro, mamiriro emidziyo, hunhu hwebanga, kushushikana kwewafer, uye manejimendi yemhandoKungoshandisa systematic optimization munzvimbo idzi dzese chete ndiko kunogona kudzora machips zvinobudirira—zvichivandudza mashandiro awo.goho rekugadzira, kuvimbika kwemachipisi, uye mashandiro emuchina wese.