Kunzwisisa Kwakadzama kweSPC System muKugadzira Wafer

1. Pfupiso yeSPC System

SPC inzira inoshandisa matekiniki ekuverenga nhamba kuti iongorore uye idzore maitiro ekugadzira. Basa rayo guru nderekuona kusarongeka mukugadzirwa kwezvinhu nekuunganidza nekuongorora data renguva chaiyo, zvichibatsira mainjiniya kugadzirisa nekugadzirisa zvinhu nenguva. Chinangwa cheSPC ndechekuderedza kusiyana kwemaitiro ekugadzira, kuona kuti mhando yechigadzirwa inoramba yakagadzikana uye inosangana nezvinodiwa.

SPC inoshandiswa mukuita etching kuti:

Tarisa maparamita emidziyo yakakosha (semuenzaniso, mwero we etch, simba reRF, kumanikidzwa kwekamuri, tembiricha, nezvimwewo)

Ongorora zviratidzo zvikuru zvemhando yezvigadzirwa (semuenzaniso, upamhi hwemutsara, kudzika kwe etch, kuomarara kwemucheto, nezvimwewo)

Nekutarisa ma parameter aya, mainjiniya vanogona kuona mafambiro anoratidza kudzikira kwekushanda kwemidziyo kana kutsauka mukugadzirwa kwayo, nokudaro vachideredza mwero wezvinhu zvakaraswa.

2. Zvikamu Zvikuru zveSPC System

Sisitimu yeSPC inoumbwa nemamodules akakosha akati wandei:

Module yeKuunganidza Data: Inounganidza data renguva chaiyo kubva kumidziyo uye kuyerera kwemaitiro (semuenzaniso, kuburikidza neFDC, EES systems) uye inorekodha zviyero zvakakosha uye mhedzisiro yekugadzira.

Module yeChati Yekudzora: Inoshandisa machati ekudzora nhamba (semuenzaniso, chati yeX-Bar, chati yeR, chati yeCp/Cpk) kuti ione kugadzikana kwemaitiro uye kubatsira kuona kana maitiro acho ari kutonga.

Sisitimu yeAlarm: Inotanga maaramu kana maparameter akakosha akadarika miganhu yekudzora kana kuratidza shanduko dzemafambiro, zvichiita kuti mainjiniya atore matanho.

Module yekuongorora neKushuma: Inoongorora chikonzero chikuru chezvisina kunaka zvichibva pamachati eSPC uye inogara ichigadzira mishumo yekushanda kwemaitiro nemidziyo.

3. Tsananguro Yakadzama yeMachati Ekudzora muSPC

Machati ekudzora ndeimwe yezvishandiso zvinonyanya kushandiswa muSPC, zvichibatsira kusiyanisa pakati pe "kuchinja kwakajairika" (kunokonzerwa nekusiyana kwemaitiro echisikigo) uye "kushanduka kusingawanzoitiki" (kunokonzerwa nekukundikana kwemidziyo kana kutsauka kwemaitiro). Machati ekudzora akajairika anosanganisira:

X-Bar neR Charts: Inoshandiswa kutarisa avhareji uye huwandu huri mukati memabheti ekugadzira kuti ione kana maitiro acho akagadzikana.

Cp neCpk Indices: Inoshandiswa kuyera kugona kwemaitiro, kureva kuti, kana kubuda kwemaitiro kuchigona kusangana nezvinodiwa zvemagadzirirwo nguva dzose. Cp inoyera kugona kwemaitiro, nepo Cp ichifunga nezvekutsauka kwenzvimbo yemaitiro kubva pamiganhu yemagadzirirwo.

Semuenzaniso, mukuita etching, unogona kutarisa ma parameter akaita se etch rate uye surface roughness. Kana etch rate yechimwe chinhu chemuchina ikadarika muganho wekudzora, unogona kushandisa ma control charts kuti uone kana iyi iri shanduko yechisikigo kana kuti chiratidzo chekusashanda zvakanaka kwemuchina.

4. Kushandiswa kweSPC muMidziyo yeEtching

Mukuita kwekucheka, kudzora maparamita emidziyo kwakakosha, uye SPC inobatsira kuvandudza kugadzikana kwemaitiro nenzira dzinotevera:

Kutarisa Mamiriro Emidziyo: Masisitimu akaita seFDC anounganidza data renguva chaiyo pamatanho akakosha emidziyo yekucheka (semuenzaniso, simba reRF, kuyerera kwegasi) uye osanganisa data iri nemachati ekudzora eSPC kuti aone matambudziko anogona kuitika mumidziyo. Semuenzaniso, kana ukaona kuti simba reRF pachati yekudzora riri kutsauka zvishoma nezvishoma kubva pamutengo wakatarwa, unogona kutora matanho ekutanga ekugadzirisa kana kugadzirisa kuti usakanganisa kunaka kwechigadzirwa.

Kutarisa Hunhu hweChigadzirwa: Unogona zvakare kuisa ma parameter akakosha emhando yechigadzirwa (semuenzaniso, kudzika kwe etch, upamhi hwemutsara) muSPC system kuti utarise kugadzikana kwayo. Kana zvimwe zviratidzo zvechigadzirwa zvakakosha zvikatsauka zvishoma nezvishoma kubva pane zvinangwa, SPC system ichaburitsa alarm, ichiratidza kuti kugadzirisa maitiro kunodiwa.

Kuchengetedza Kudzivirira (PM): SPC inogona kubatsira kugadzirisa kutenderera kwekuchengetedza kwemidziyo. Nekuongorora data renguva refu pamusoro pekushanda kwemidziyo uye mhedzisiro yemaitiro, unogona kuona nguva yakakodzera yekugadzirisa michina. Semuenzaniso, nekutarisa simba reRF uye hupenyu hweESC, unogona kuona kuti kuchenesa kana kutsiviwa kwezvikamu kunodiwa riini, kuderedza mwero wekutadza kwemidziyo uye nguva yekushanda kwekugadzira.

5. Mazano Ekushandisa SPC System Zuva Nezuva

Kana uchishandisa sisitimu yeSPC mumabasa ezuva nezuva, matanho anotevera anogona kuteverwa:

Tsanangura MaParameters Ekutonga Zvinokosha (KPI): Ziva maparameters akakosha mukugadzirwa uye uasanganise mukutarisa kweSPC. Maparameters aya anofanirwa kunge aine chekuita nehunhu hwechigadzirwa uye mashandiro emidziyo.

Gadza Miganhu Yekudzora uye Miganhu Yekuridza: Zvichibva padata rekare uye zvinodiwa pakuita, gadza miganhu yekudzora inonzwisisika uye miganhu yealamu yeparameter yega yega. Miganhu yekudzora inowanzoiswa pa ±3σ (kutsauka kwakajairwa), nepo miganhu yealamu ichienderana nemamiriro chaiwo ekuita uye michina.

Kuramba Uchitarisa uye Uchiongorora: Gara uchiongorora machati ekudzora eSPC kuti uongorore mafambiro edata uye kusiyana kwaro. Kana mamwe ma parameter akadarika miganhu yekudzora, chiito chinodiwa nekukurumidza, senge kugadzirisa ma parameter emidziyo kana kugadzirisa michina.

Kubata Zvisina Kunaka uye Kuongorora Zvinokonzera Zvisina Kunaka: Kana paine chinhu chisina kunaka, sisitimu yeSPC inonyora ruzivo rwakadzama nezvechiitiko ichi. Unofanirwa kugadzirisa nekuongorora chinokonzera dambudziko racho zvichibva paruzivo urwu. Kazhinji zvinokwanisika kusanganisa data kubva kumasisitimu eFDC, masisitimu eEES, nezvimwewo, kuti uongorore kana dambudziko racho riri kukonzerwa nekukundikana kwemidziyo, kutsauka kwemaitiro, kana zvinhu zvekunze zvakatipoteredza.

Kuvandudza Kunoenderera Mberi: Uchishandisa data rekare rakanyorwa neSPC system, tsvaga zvikanganiso mukuita uye ronga zvirongwa zvekuvandudza. Semuenzaniso, mukuita etching, ongorora simba rehupenyu hweESC uye nzira dzekuchenesa pakugadzirisa michina uye ramba uchigadzirisa maparamita ekushanda kwemidziyo.

6. Nyaya Inoshanda Yekushandisa

Semuenzaniso unoshanda, ngatitii iwe ndiwe une basa rekushandisa michina yekucheka E-MAX, uye cathode yekamuri iri kusangana nekusakara nguva isati yakwana, zvichikonzera kuwedzera kwe D0 (BARC defect) values. Nekutarisa simba reRF uye mwero we etch kuburikidza neSPC system, unoona maitiro apo ma parameter aya anotsauka zvishoma nezvishoma kubva pane zvavakaisa. Mushure mekunge alarm yeSPC yatanga, unosanganisa data kubva kuFDC system woona kuti dambudziko iri rinokonzerwa nekudzora tembiricha isina kugadzikana mukati mekamuri. Wobva watanga nzira itsva dzekuchenesa uye nzira dzekugadzirisa, pakupedzisira uchideredza D0 value kubva pa4.3 kusvika pa2.4, nokudaro uchivandudza mhando yechigadzirwa.

7.MuXINKEHUI unogona kuwana.

PaXINKEHUI, unogona kuwana wafer yakakwana, ingave silicon wafer kana SiC wafer. Isu tine hunyanzvi mukupa mawafer emhando yepamusoro kumaindasitiri akasiyana-siyana, tichitarisa pakunyatsorongeka uye mashandiro.